वैक्यूम स्पटरिंग सिस्टम हाई वैक्यूम स्पटरिंग सिस्टम एक ऐसी मशीन है जो 300 मिलीमीटर तक के सब्स्ट्रेट पर धातु और डाइइलेक्ट्रिक पतली फिल्मों का निक्षेपण करती है। यह सिस्टम रेडियो फ्रीक्वेंसी, डायरेक्ट करंट या पल्स्ड डायरेक्ट करंट से संचालित मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग स्रोतों का उपयोग करता है, जो सिंगल मोड या को-डिपोज़िशन मोड में कार्य करते हैं। मॉड्यूलर संरचना सरल स्थापना, परिवहन और रखरखाव को संभव बनाती है। आवरण कोल्ड रोल्ड स्टील से बनाया गया है जिसमें शीट मेटल फॉर्मिंग और स्प्रे फिनिशिंग की गई है, इसके साथ एल्युमिनियम का आंतरिक ढांचा और पारभासी ग्रे एक्रिलिक कवर है। नियंत्रण स्क्रीन एर्गोनोमिक सिद्धांतों का अनुपालन करती है।

परियोजना का नाम : Ultra High Vacuum Sputtering System, डिजाइनरों का नाम : Yong Zhang, ग्राहक का नाम : Huaiyin Institute of Technology & Liaoning Petrochemical University.

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